طريقة جديدة لاختبار أداء أشباه الموصلات

Apr 20, 2020 ترك رسالة

مواد أشباه الموصلات هي المواد الأساسية للأجهزة الإلكترونية الدقيقة والأجهزة الكهروضوئية. تؤثر خصائص الشوائب والعيوب بشكل خطير على أداء الجهاز. مع زيادة تكامل الأجهزة الإلكترونية الدقيقة وكفاءة تحويل الأجهزة الكهروضوئية ، تزداد متطلبات المواد الخام لأشباه الموصلات. من أجل تلبية احتياجات الإنتاج الصناعي ، فإن طريقة الكشف عن المواد مطلوبة للحصول على حساسية أعلى وسرعة قياس أسرع ، مع تجنب تلف المواد. شركات النقل هي ناقلات وظيفية لمواد أشباه الموصلات ، وتحدد خصائص النقل الخاصة بها أداء الأجهزة الإلكترونية البصرية المختلفة ، بما في ذلك عمر الناقل ومعامل الانتشار ومعدل إعادة التركيب السطحي. تعد تقنية الإشعاع الحامل البصري نوعًا من طرق الاختبار البصري غير المدمر للقياس المتزامن لمعلمات النقل الحامل ، لكن هذه الطريقة لا تزال لديها بعض القيود في قياس وتوصيف معلمات النقل الحامل ، مثل النموذج النظري قابلية التطبيق ، دقة القياس وسرعة المعلمات.

بدعم من المؤسسة الوطنية للعلوم الطبيعية في الصين ، قام معهد تكنولوجيا الإلكترونيات الضوئية التابع للأكاديمية الصينية للعلوم بهدف حل المشكلات المذكورة أعلاه ووضع نموذج إشعاع ناقل ضوئي غير خطي باستخدام مواد السيليكون شبه الموصلة كموضوع بحثي ، وعلى هذا الأساس ، ضوء متعدد النقاط المقترح على التوالي أكدت تكنولوجيا الإشعاع الحامل وتقنية التصوير الإشعاعي للحامل الضوئي المستقر على فعالية التكنولوجيا المذكورة أعلاه من خلال حسابات المحاكاة والقياسات التجريبية. يمكن لتقنية إشعاع الموجة الحاملة للضوء متعدد النقاط القضاء تمامًا على تأثير استجابة التردد لنظام القياس على نتائج القياس ، وتحسين دقة القياس لمعلمات النقل الحاملة. السليكون البلوري أحادي النوع P مع مقاومة 0. 1 - 0. {{6}} Ω؟ Cm على سبيل المثال ، تقلل تقنية إشعاع الموجة الحاملة الخفيفة متعددة النقاط المقترحة من عدم اليقين في قياس عمر الناقل ، ومعامل الانتشار ومعدل إعادة التركيب السطحي من ± 15 التقليدية. 9٪ ، ± {{{{17 }}}} 9. 1٪ و 00 1 00 1 0 جم ؛ ± 50٪ إلى ± 1 0. 7٪ ، ± {{1 6}}. 6٪ و ± 35. { {19}}٪. بالإضافة إلى ذلك ، تبسط تقنية التصوير الإشعاعي للحامل الضوئي المستقر الحالة النظرية وجهاز القياس ، ويتم تحسين معدل القياس بشكل كبير ، ولديه إمكانات تطبيق صناعية أكبر.


إرسال التحقيق

الصفحة الرئيسية

skype

البريد الإلكتروني

التحقيق